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射頻等離子體表面處理儀內官能團的譜線強度體現出氣體的離解程度
- 分類：公司動態
- 作者：等離子清洗機-CRF plasma等離子設備-等離子表面處理機廠家-誠峰智造
- 來源：低溫等離子設備生產廠家
- 發布時間：2022-03-15
- 訪問量：
【概要描述】射頻等離子體表面處理儀內官能團的譜線強度體現出氣體的離解程度： ? ? ? ? 借助柱體諧振腔式MPCVD裝備可以根據增強沉積壓力來增強等離子體密度，在基片臺上實現金剛石膜的快速生長。改變石英管位置、腔體結構、調諧板靈活程度等方式達到增強功率密度的目的。把石英管設置在沉積臺下方，增加諧振腔中調諧板與調諧活塞移動范圍的方式，來達到減小等離子體污染，增加沉積速率的目的。 ????? ?射頻等離子體表面處理儀內官能團的相對譜線強度可以體現出氣體的離解程度，同時也是金剛石沉積速率和質量的重要因素，上基片臺作為尖部在微波電磁場中電場強度大，附近的離子發生激烈運動，并不斷與其他粒子發生碰撞，使等離子體密度增強。高H譜線強度說明雙基片結構下等離子體能產生濃度更高的H自由基，H自由基能刻蝕sp'C和石墨等非金剛石相，增強沉積金剛石的質量。 ????? ?相比于雙基片結構，單基片臺下各個位置官能團強度都十分接近，說明雙基片臺結構具有集聚等離子體的作用，能使各官能團向基片臺范圍內靠攏，在基片臺范圍內均勻性好，而基片臺范圍外則均勻性差，而單基片臺對等離子體的集聚作用則較弱，等離子體表面處理儀更加發散。 ????? ?此外在雙基片結構下，隨著甲烷濃度增加，C2官能團強度上升更加顯著，能有效增強金剛石沉積速率；雙基片結構下的射頻等離子體表面處理儀離子體電子溫度更低，內部粒子間的碰撞更為劇烈，且電子溫度隨氣壓上升而降低。 ?
射頻等離子體表面處理儀內官能團的譜線強度體現出氣體的離解程度
【概要描述】射頻等離子體表面處理儀內官能團的譜線強度體現出氣體的離解程度：
? ? ? ? 借助柱體諧振腔式MPCVD裝備可以根據增強沉積壓力來增強等離子體密度，在基片臺上實現金剛石膜的快速生長。改變石英管位置、腔體結構、調諧板靈活程度等方式達到增強功率密度的目的。把石英管設置在沉積臺下方，增加諧振腔中調諧板與調諧活塞移動范圍的方式，來達到減小等離子體污染，增加沉積速率的目的。
????? ?射頻等離子體表面處理儀內官能團的相對譜線強度可以體現出氣體的離解程度，同時也是金剛石沉積速率和質量的重要因素，上基片臺作為尖部在微波電磁場中電場強度大，附近的離子發生激烈運動，并不斷與其他粒子發生碰撞，使等離子體密度增強。高H譜線強度說明雙基片結構下等離子體能產生濃度更高的H自由基，H自由基能刻蝕sp'C和石墨等非金剛石相，增強沉積金剛石的質量。
????? ?相比于雙基片結構，單基片臺下各個位置官能團強度都十分接近，說明雙基片臺結構具有集聚等離子體的作用，能使各官能團向基片臺范圍內靠攏，在基片臺范圍內均勻性好，而基片臺范圍外則均勻性差，而單基片臺對等離子體的集聚作用則較弱，等離子體表面處理儀更加發散。
????? ?此外在雙基片結構下，隨著甲烷濃度增加，C2官能團強度上升更加顯著，能有效增強金剛石沉積速率；雙基片結構下的射頻等離子體表面處理儀離子體電子溫度更低，內部粒子間的碰撞更為劇烈，且電子溫度隨氣壓上升而降低。
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- 分類：公司動態
- 作者：等離子清洗機-CRF plasma等離子設備-等離子表面處理機廠家-誠峰智造
- 來源：低溫等離子設備生產廠家
- 發布時間：2022-03-15 22:53
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射頻等離子體表面處理儀內官能團的譜線強度體現出氣體的離解程度：
借助柱體諧振腔式MPCVD裝備可以根據增強沉積壓力來增強等離子體密度，在基片臺上實現金剛石膜的快速生長。改變石英管位置、腔體結構、調諧板靈活程度等方式達到增強功率密度的目的。把石英管設置在沉積臺下方，增加諧振腔中調諧板與調諧活塞移動范圍的方式，來達到減小等離子體污染，增加沉積速率的目的。
射頻等離子體表面處理儀內官能團的相對譜線強度可以體現出氣體的離解程度，同時也是金剛石沉積速率和質量的重要因素，上基片臺作為尖部在微波電磁場中電場強度大，附近的離子發生激烈運動，并不斷與其他粒子發生碰撞，使等離子體密度增強。高H譜線強度說明雙基片結構下等離子體能產生濃度更高的H自由基，H自由基能刻蝕sp'C和石墨等非金剛石相，增強沉積金剛石的質量。
相比于雙基片結構，單基片臺下各個位置官能團強度都十分接近，說明雙基片臺結構具有集聚等離子體的作用，能使各官能團向基片臺范圍內靠攏，在基片臺范圍內均勻性好，而基片臺范圍外則均勻性差，而單基片臺對等離子體的集聚作用則較弱，等離子體表面處理儀更加發散。
此外在雙基片結構下，隨著甲烷濃度增加，C2官能團強度上升更加顯著，能有效增強金剛石沉積速率；雙基片結構下的射頻等離子體表面處理儀離子體電子溫度更低，內部粒子間的碰撞更為劇烈，且電子溫度隨氣壓上升而降低。
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